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先进院(深圳)科技有限公司推出的超导FPC软板,以柔性印刷电路板为载体,结合超导金属线路、低损耗基材、多层堆叠与共面波导设计,满足超导量子比特互联对低损耗信号传输、高密度集成、mK级低温兼容的核心需求。产品可服务于表面码量子纠错、多量子芯片模块化互联及稀释制冷机内低温布线等场景。
产品定位:面向超导量子计算的高密度、低损耗、低温兼容柔性互联载体,用于超导量子比特阵列、模块化量子处理器及低温控制电子学集成。
| 项目 | 规格/方案 |
|---|---|
| 线路材料 | Nb、Al;可选NbN薄膜等 |
| 基材 | PI、LCP;可评估改性PI |
| 介电常数 | PI约3.4–3.8;LCP约2.9–3.2 |
| 传输结构 | 共面波导CPW,支持50Ω阻抗匹配 |
| 工作环境 | 面向超导量子比特mK级低温环境 |
| 信号频段 | GHz级信号传输设计 |
| 布线能力 | 多层堆叠、高密度布线、超导接地/屏蔽 |
| 制造精度 | 亚微米级线路精度;可采用EBL/EUV、CMP等工艺 |
| 集成方向 | 支持高密度量子比特互联;行业参考密度达100+比特/cm² |
注:具体指标依客户结构、材料选型与工艺评估确定。
| 挑战 | 解决方案 |
|---|---|
| 低温材料性能退化 | 采用LCP或改性PI等低温兼容基材,并通过仿真优化线路布局,降低热收缩应力集中。 |
| 信号损耗与串扰 | 采用低损耗超导材料与超导接地/屏蔽结构,优化CPW传输设计。 |
| 制造工艺精度 | 结合电子束光刻(EBL)、极紫外光刻(EUV)及化学机械抛光(CMP),实现亚微米级线路与超光滑表面。 |
先进院(深圳)科技有限公司将持续推进低温超导聚合物、原子层沉积等材料与工艺创新,并结合TSV垂直互联、光子模块集成等方向,推动超导FPC软板向更高密度、更低损耗、更高可靠性发展,助力量子计算向千比特级规模扩展。
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